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少子壽命測試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)用于單晶硅錠、硅磚和硅晶圓片的生產(chǎn)和質(zhì)量監控。用于HJT、HIT、TOPcon、雙面PERC、PERC+太陽(yáng)能電池、鈣鈦礦等中的硅材料。

MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量?jì)x被設計成一個(gè)緊湊的臺式非接觸電學(xué)表征工具，用于離線(xiàn)生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩態(tài)或短脈沖激勵（μ-PCD）下，在一個(gè)寬的注入范圍內測量參數，如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動(dòng)化的樣品識別和參數設置允許輕松適應各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過(guò)不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。

MDPlinescan在線(xiàn)少子壽命測試儀靈活的OEM少子壽命測試儀器，用于各種不同樣品的少子壽命測量，從單晶硅磚到多晶硅磚，從生長(cháng)的硅片到不同層或金屬化的硅片的過(guò)程控制。標準的軟件接口，便于連接到許多處理或自動(dòng)化系統。

MDPspot少子壽命測試儀低成本桌面單點(diǎn)測量硅片或晶磚，用于在不同制備階段表征各種不同的硅樣品，無(wú)需內置自動(dòng)化?？蛇x手動(dòng)操作的z軸厚度高達156毫米的硅磚樣品，高達156毫米硅磚，結果可視化的標準軟件。

弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無(wú)損成像（μPCD /MDP（QSS））的設計*符合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優(yōu)化等領(lǐng)域被廣泛應用?？梢哉f(shuō)，MDPpro是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商d的標準儀器。

MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試）是一個(gè)緊湊的離線(xiàn)臺式檢測設備，主要被設計用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態(tài)為穩態(tài)或短脈沖激勵下（μ-PCD）。

德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線(xiàn)晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測儀）是一款靈活的OEM設備，可以用于多種不同樣品的在線(xiàn)壽命測量：從單晶到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。配置標準軟件接口，易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統。

MDPinline（MDP高速晶圓片在線(xiàn)面檢測儀--少子壽命檢測）是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過(guò)工廠(chǎng)安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時(shí)間內，就可以“動(dòng)態(tài)”測量出晶圓圖。該儀器可為每個(gè)晶圓片提供完整的拓撲結構，有效提高了生產(chǎn)線(xiàn)的成本效益和效率。且其實(shí)時(shí)質(zhì)量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。

德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot（MDP晶錠在線(xiàn)面掃檢測儀--進(jìn)口少子壽命測試）系統是快速多晶硅晶錠電學(xué)參數特性測量工具。它是專(zhuān)為高通量工廠(chǎng)的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時(shí)間里測量其四面。所有的圖譜（壽命，光電導率，電阻率）都可以同時(shí)進(jìn)行測量。